1)检查激光器的气体混合单元是否有油、水，若有则及时清理；检查激光器气体干燥过滤器，若超过1/4颜色变成红色或者白色，则需进行更换，其正常颜色为蓝色。

4)检查压缩空气分离器（位于气源单元内）内的冷凝水水位。检查真空泵油位（位于气源单元下面）。当泵处于冷态时，油面应在油窗中间线+5mm0mm之间，需要时再加油。

5）检查罗茨泵油位。罗茨泵齿轮箱中的油位可通过齿轮箱端面的油窗看见，当泵关掉并且处于冷态时，油位应在玻璃中间线的+5mm0mm之间，必要时再加型号为HTCL2100油。